一.概述隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，出現(xiàn)了許多特殊用途的微電子器件和電路，這類產(chǎn)品在組裝完成后封裝前，為了避免受大氣中的氧氣、水汽、塵埃及其它微量腐蝕性有害氣體的影響，需保存在高純氮氣環(huán)境中，因此對氮氣凈化儲存柜的需求量越來越大。本設備通過對國外引進的氣密封焊等設備充氮系統(tǒng)的分析，并根據(jù)具體使用要求，經(jīng)過多次的設計改進，研制出國內(nèi)首款采用微電腦芯片全程控制氮氣源并自動達到設定濕度的充氮貯存系統(tǒng)。本設備具有操作簡單，人性化管理，節(jié)約使用成本，自動恒濕恒壓等特點。二.主要技術指標產(chǎn)品型號：QUX-3150內(nèi)腔尺寸：1350mm×1870mm×600mm（W×H×D）。靜態(tài)氮氣消耗量：<0.5m3/h。系統(tǒng)氮氣正壓:約50mm水柱。三.系統(tǒng)工作原理高純氮由氣瓶經(jīng)減壓器將壓力降到1.5-1.8MPa以下，接入設備的氮氣輸入口，氮氣接入口位于設備右側(cè)的控制盒背板正下方（進氣管請選用φ6氣管），氮氣進入氣源接駁口后進入電磁閥，再流入流量計，最后直接進入貯存室。整個系統(tǒng)控制是通過微電腦芯片對電磁閥的吸合狀態(tài)進行有效管理來完成。當電源接通后，電磁閥作為任務完成的執(zhí)行部件即開始工作，這時會聽到電磁吸合的碰撞聲，表示氣源已開通；沖氣過程中，電磁閥的所有開關動作都處于微電腦芯片中的執(zhí)行程序的控制下，直到濕度達到設定值；當貯存環(huán)境的濕度恒定狀態(tài)被打破，微電腦芯片會重新執(zhí)行程序。系統(tǒng)的調(diào)整主要是進氣壓力和流量的調(diào)整，這兩個參數(shù)有聯(lián)系且相互影響。先調(diào)節(jié)氣瓶減壓閥，建議氣壓值在1.5MPa～1.8MPa之間選擇。當設定進氣氣壓值后，下一步調(diào)節(jié)流量計上的流量調(diào)節(jié)閥。具體調(diào)節(jié)數(shù)值因使用情況不同而有所區(qū)別，根據(jù)經(jīng)驗，一般取1.5-2L/min，就可滿足要求。在這種狀態(tài)下靜態(tài)的氮氣消耗量很小，一般1滿瓶氮氣可用大約半個月，實際使用中應盡量減少開門次數(shù)，否則會使氮氣消耗量增加。開門時，可將流量調(diào)整至10L/min，這樣可將外界潮濕氣流的干擾降到最低，大約30分鐘后再恢復到1.5-2L/min。最后，順便介紹一下日常維護。氮氣儲存柜在使用一段時間后，由于取放工件等原因，使凈化度指標下降（可用專門的測試儀定期檢測）。這時可取出工件，先用吸塵器進行清潔處理，再用綢布沾上酒精清洗，最后用高純氮氣吹干，即可重新投入使用。需要指出的是，輸入的高純氮氣的純凈度必須達到相關指標（99.99％），否則，氮氣儲存柜的凈化度及儲存效果難以達到要求；四.氮氣儲存柜使用步驟：1.     將氮氣瓶或氮氣發(fā)生氣上的外延連接管跟氮氣儲存柜右側(cè)控制盒下方的接氣嘴連接起來；建議使用φ6優(yōu)質(zhì)軟氣管。如使用其它口徑氣管須用連接頭轉(zhuǎn)換再接；2.     將外接電源線連接在220V/50HZ電源插座上；3.     預置濕度：通過操作面板中間兩個按鍵完成。左側(cè)鍵增加濕度，右側(cè)鍵減少濕度；操作面板左側(cè)的LED數(shù)碼管顯示器有溫度及濕度顯示窗口，按鍵右側(cè)為半圓形動態(tài)顯示裝置；當濕度值達到后，紅色LED燈全亮；最右側(cè)為貯存區(qū)照明按鈕開關（附1分鐘延時功能，放便在不打開門的狀態(tài)觀察貯存室內(nèi)的貯存物品）；4.     將氮氣源壓力調(diào)整在1.5-1.8MPA的位置上（通過氮氣瓶上的壓力表調(diào)整）；如果氮氣源的壓力小于1.5MPA，將不能推動電磁閥工作，這時會關閉電磁閥；當?shù)獨庠磯毫_到1.5MPA以上，這時可驅(qū)動電磁閥供氣，供氣時間25-30分鐘即可將濕度降至20%RH，濕度達到預置值后，微電腦芯片會給電磁閥發(fā)出指令，自動關閉該路氣源；5.     當開啟門取放物料時，可在開起門之前先將流量調(diào)整至10L/min，以阻隔外界空氣對柜內(nèi)濕度的影響，拿取物料后將流量調(diào)整至1.5-2L/min，同時電磁閥會恢復1.5-2L/min的維持性不間斷供氣；6.     照明系統(tǒng)：本設備采用環(huán)保節(jié)能的LED照明技術，功率為3W，光源為冷光源，能有效避免直射光源對貯存物品的影響.